XD-MA150 全自動(dòng)晶圓光刻機(jī)
傳統(tǒng)曝光機(jī)光學(xué)系統(tǒng)主要由光源(高壓球形汞燈)、橢球面反光杯、冷光鏡、透射式復(fù)眼透鏡陣列、二向色鏡和球面平行光反射鏡組成。 光源發(fā)出的光被橢球面反光杯聚焦后,經(jīng)冷光鏡...
紫外曝光機(jī),也稱光刻機(jī)、掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等,是印刷線路板(PCB)制作工藝中的重要設(shè)備。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘...
1、 省電節(jié)能,減低成本 - LED發(fā)光達(dá)到某種亮度時(shí)所消耗的能量只有15瓦左右,而傳統(tǒng)的燈達(dá)到同樣亮度要消耗1500瓦的能量,即使與UV鹵素?zé)粝啾龋部晒?jié)省80%的能源,因此LED燈非常節(jié)能...
新一代LED平行光曝光機(jī)選用進(jìn)口核心光源系統(tǒng),從2007年初次研發(fā)UVLED光源曝光機(jī),最新款的UVLED曝光機(jī)選用220V電源,即插即用,無需配置空調(diào)水塔,配置了精密的雙非球面石英透鏡,使...
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