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XD-MA150 全自動晶圓光刻機

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紫外曝光機系統組成及其工作原理

日期:2024-05-29
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傳統曝光機光學系統主要由光源(高壓球形汞燈)、橢球面反光杯、冷光鏡、透射式復眼透鏡陣列、二向色鏡和球面平行光反射鏡組成。
 
光源發出的光被橢球面反光杯聚焦后,經冷光鏡反射到復眼透鏡陣列場鏡,從投影鏡出射的光到達二向色鏡,光譜中的紫外部分被50%透射,50%反射后,到達兩塊對稱分布的大面積球面平行反光鏡,被準直反射到曬板上對PCB板進行曝光。